【摘 要】
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总结了基于光学内反射测角法的微小角度测量的基本原理、特性、发展现状以及其在精密测试中的应用。
The basic principle, characteristics, development status and appli
【机 构】
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天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室 天津300072,天津300072
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总结了基于光学内反射测角法的微小角度测量的基本原理、特性、发展现状以及其在精密测试中的应用。
The basic principle, characteristics, development status and application of the micro angle measurement based on the optical internal reflection angle measurement method are summarized.
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