【摘 要】
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采用正交设计法,对溶胶-凝胶方法制备AZO薄膜的工艺参数进行了优化研究;确定了最佳工艺参数,为制备AZO薄膜的工业化控制提供了一种可行的方法。
The orthogonal design meth
【机 构】
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武汉理工大学材料科学与工程学院,武汉理工大学材料科学与工程学院,武汉理工大学材料科学与工程学院,武汉理工大学材料科学与工程学院,武汉理工大学材料科学与工程学院 湖北武汉 430070 ,湖北武汉 43
【出 处】
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武汉理工大学学报(信息与管理工程版)
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采用正交设计法,对溶胶-凝胶方法制备AZO薄膜的工艺参数进行了优化研究;确定了最佳工艺参数,为制备AZO薄膜的工业化控制提供了一种可行的方法。
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