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期刊论文
VLSI最危险的失效机理
VLSI最危险的失效机理
来源 :微电子学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:grace_925
【摘 要】
:
本文介绍VLSI最危险的失效机理:薄氧化层击穿,热载流子效应,电迁移和金属-半导体相互作用。着重介绍它们的机理和改善措施。
【作 者】
:
赵策洲
张德胜
【机 构】
:
西安电子科技大学微电子所
【出 处】
:
微电子学
【发表日期】
:
1994年4期
【关键词】
:
失效机理
VLSI
集成电路
Thin oxide breakdown
Hot carrie effect
Electromigration
Failure m
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本文介绍VLSI最危险的失效机理:薄氧化层击穿,热载流子效应,电迁移和金属-半导体相互作用。着重介绍它们的机理和改善措施。
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