B270玻璃-TC4钛合金热压阳极键合连接工艺研究

来源 :真空科学与技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:luocaohuozi12345
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采用了热压-阳极键合复合连接工艺对B270玻璃/TC4钛合金进行连接,分析了真空热压参数对B270玻璃/TC4钛合金连接界面结构、结合效果的影响,并研究了B270玻璃/TC4钛合金的阳极键合工艺,分析了不同键合工艺参数下的工艺特征。结果表明,当对应的真空热压参数为:T=750℃,t=2 h,P=0.5 MPa,当键合温度T在350~550℃,电场电压V在500~700 V时,有最佳的连接效果。键合界面结构分析发现,整个键合区域是由玻璃-中间过渡层-TC4钛合金的结构组成,界面两侧的化学元素呈梯度分布。 The B270 glass / TC4 titanium alloy was connected by the hot press-anode bonding composite connection process, and the influence of vacuum hot pressing parameters on the structure and bonding effect of B270 glass / TC4 titanium alloy interface was analyzed. Titanium alloy anode bonding process, analysis of different bonding process parameters under the process characteristics. The results show that when the corresponding hot pressing parameters are T = 750 ℃, t = 2 h, P = 0.5 MPa, when the bonding temperature T is 350 ~ 550 ℃ and the electric field voltage V is 500 ~ 700 V Good connection effect. The bonding interface structure analysis found that the entire bonding area is composed of glass - intermediate transition layer - TC4 titanium alloy structure, the interface of the chemical elements on both sides of the gradient distribution.
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