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真空分层蒸镀InSb薄膜的研究
真空分层蒸镀InSb薄膜的研究
来源 :真空电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:llhxdlb
【摘 要】
:
采用双源分层蒸镀的方法制作InSb薄膜,将区域熔融技术用于InSb薄膜的热处理,提高了薄膜的纯度和择优定向程度,室温下电子迁移率达到30000cm^2/(V·s)。在此基础上,分析了影响InSb薄膜性能的几个主要因素
【作 者】
:
于映
陈抗生
【机 构】
:
浙江大学信电系
【出 处】
:
真空电子技术
【发表日期】
:
1995年4期
【关键词】
:
薄膜
分层蒸镀
电子迁
锑化铟
InSb thin films
Sequential evaporation
Zone melting technique
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采用双源分层蒸镀的方法制作InSb薄膜,将区域熔融技术用于InSb薄膜的热处理,提高了薄膜的纯度和择优定向程度,室温下电子迁移率达到30000cm^2/(V·s)。在此基础上,分析了影响InSb薄膜性能的几个主要因素。
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