脊波导结构LiNbO3电光调制器研究与改进

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采用有限元软件Ansys、运用有限元法,对脊波导结构铌酸锂电光调制器进行了优化设计.通过将传统结构与脊波导的比较分析,提出采用聚四氟乙烯部分取代缓冲层中的二氧化硅的结构,能更好的实现微波等效折射率的降低以达到与光波折射率的匹配,同时能保持更大的特性阻抗以实现阻抗匹配,从而更好的提高器件性能.
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