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以聚焦的A_r~+激光束诱导多晶硅膜的淀积,在可移动的反应器上实现了宽度小于激光束径的多晶硅精细线条的直接书写。这可以视为VLSI的一种新的布线工艺的雏形。
Ar^＋激光诱导淀积多晶硅精细线条
【摘 要】
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以聚焦的A_r~+激光束诱导多晶硅膜的淀积,在可移动的反应器上实现了宽度小于激光束径的多晶硅精细线条的直接书写。这可以视为VLSI的一种新的布线工艺的雏形。
【机 构】
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河北大学电子系,河北大学电子系
【出 处】
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河北大学学报：自然科学版
【发表日期】
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1992年1期
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