CPLD在精密激光定位系统中的应用

来源 :光电工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zhaogaoheng123

【摘要】

：

阐述了双频干涉仪的定位原理 ,以及在应用 CPLD设计、制作其功能电路时遇到的问题和解决方案。 Describes the principle of dual-frequency interferometer positioning, a

【作者】

：

贺超陈伟明刘业异

【机构】

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中国科学院光电技术研究所!成都,610209,中国科学院光电技术研究所!成都,610209,中国科学院光电技术研究所!成都,610209

【出处】

：

光电工程

【发表日期】

：

1998年S1期

【关键词】

：

激光定位系统双频激光干涉仪逻辑装置功能电路定位原理现场调试投影光刻机软件开发工具逻辑单元新型器件

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阐述了双频干涉仪的定位原理 ,以及在应用 CPLD设计、制作其功能电路时遇到的问题和解决方案。 Describes the principle of dual-frequency interferometer positioning, as well as the application of CPLD design, manufacture of functional circuits encountered problems and solutions.

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