基于组合铂膜探头的气体流量计实验研究与数据处理

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介绍了一种基于传热原理的组合铂膜探头。在对该组合热膜探头的温度特性以及温度补偿性能实验研究的基础上,设计了具有温度补偿的气体流量传感器,并在钟罩装置上对该流量传感器进行了流量检测实验,对实验结果的拟合和处理表明,该气体流量传感器的测量精度优于1%,流量范围度大于100:1。
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