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自动工艺流程生成器对于集成电路生产自动化具有重要意义.文章介绍了一种工艺流程生成程序MyAPG,对于程序所用到的工艺库和工艺步骤合并的处理进行了详细说明,并给出了利用该程序所得到的流程实例.
工艺流程的自动生成程序MyAPG及其应用
【摘 要】
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自动工艺流程生成器对于集成电路生产自动化具有重要意义.文章介绍了一种工艺流程生成程序MyAPG,对于程序所用到的工艺库和工艺步骤合并的处理进行了详细说明,并给出了利用该
【机 构】
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清华大学微电子研究所
【出 处】
：
微电子学
【发表日期】
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2002年2期
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