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道康宁电子事业部携手战略伙伴共同开发有机硅解决方案用于先进的193nm光阻剂和抗反射涂层。
有机硅解决方案
【摘 要】
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道康宁电子事业部携手战略伙伴共同开发有机硅解决方案用于先进的193nm光阻剂和抗反射涂层。
【出 处】
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化工文摘
【发表日期】
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2004年2期
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