【摘 要】
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根据质量作用定律,测定了铜膜在静态腐蚀和化学机械抛光（ Chemical MechanicalPolishing,C M P）两种反应条件下的化学反应速率常数;通过A rrhenius方程,测定了铜膜在两种反应条
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根据质量作用定律,测定了铜膜在静态腐蚀和化学机械抛光（ Chemical MechanicalPolishing,C M P）两种反应条件下的化学反应速率常数;通过A rrhenius方程,测定了铜膜在两种反应条件下的化学反应活化能.结果表明：当抛光液温度为2 9 8 .1 5 K ,工作压力为13 780 P a 时,静态腐蚀条件下体系化学反应速率常数是114. 80 s^-1,而C M P条件下体系的化学反应速率常数是41 2 .1 1 s^-1,同时,C M P 条件下的反应活化能为4 849. 8
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