【摘 要】
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坐标测量机(CMM)是最常用的长度测量仪器,但在面对复杂结构工件的高精度测量时,配备单一接触式测头的坐标测量机往往无法完全满足测量需求.针对这种情况,本文研制了一种亚微
【机 构】
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苏州天准科技股份有限公司 苏州215153;天津大学 天津300072;中国计量科学研究院 北京100013
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坐标测量机(CMM)是最常用的长度测量仪器,但在面对复杂结构工件的高精度测量时,配备单一接触式测头的坐标测量机往往无法完全满足测量需求.针对这种情况,本文研制了一种亚微米级的高精度复合式坐标测量机.该仪器集成接触式测头、影像测头和光谱共焦测头,充分利用每种测头各自的优势,实现复杂工件的快速高精度测量.本文介绍了高精度复合式坐标测量机测量精度影响因素的处理方法,完成了测量机的机械结构设计,进行了几何误差和热误差补偿,对测量机3种测头进行了独立标定及融合标定.精度验证测试结果表明,所研制的复合式坐标测量机测量精度可达到亚微米级水平.
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