【摘 要】
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近几年，PZT铁电存储器的商业应用受到了广泛关注，但PZT电容器的疲劳现象已成为其应用的严重障碍，变换电极是改善PZT电容器抗疲劳特性的有效方法。系统地介绍了PZT铁电薄膜用电极
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近几年，PZT铁电存储器的商业应用受到了广泛关注，但PZT电容器的疲劳现象已成为其应用的严重障碍，变换电极是改善PZT电容器抗疲劳特性的有效方法。系统地介绍了PZT铁电薄膜用电极材料的结构、性能及其特点，比较了不同电极材料对PZT铁电薄膜结构及铁电性能的影响，并对导电金属氧化物电极改善抗疲劳特性的机制进行了一定的分析，提出了电极材料的主要问题和发展方向。
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