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物理气相沉积技术的新进展
物理气相沉积技术的新进展
来源 :材料保护 | 被引量 : 0次 | 上传用户:gsdgerfdgcvbrrgfdgd
【摘 要】
:
近年来 ,物理气相沉积技术的应用对象不断扩展 ,处理时基体温度进一步降低 ,新型镀层、复合镀层、多层镀层大量出现 ,并通过制备工艺提高摩擦学性能。作者对其发展趋势进行了
【作 者】
:
李健
韦习成
【机 构】
:
武汉材料保护研究所,上海大学材料学院
【出 处】
:
材料保护
【发表日期】
:
2000年01期
【关键词】
:
PVD技术
薄膜
摩擦磨损
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近年来 ,物理气相沉积技术的应用对象不断扩展 ,处理时基体温度进一步降低 ,新型镀层、复合镀层、多层镀层大量出现 ,并通过制备工艺提高摩擦学性能。作者对其发展趋势进行了探讨。
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