【摘 要】
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采用数字化电子光学设计软件计算了扫描电子显微镜(SEM)物镜的光学特性并能在满足给定的条件下优化物镜设计.本文通过采用已发表的通用数据和用软件计算实际透镜得到的数据来
【机 构】
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中国科学院北京科学仪器研制中心,中国科学院研究生院,德国Tuebingen大学应用物理研究所
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采用数字化电子光学设计软件计算了扫描电子显微镜(SEM)物镜的光学特性并能在满足给定的条件下优化物镜设计.本文通过采用已发表的通用数据和用软件计算实际透镜得到的数据来计算电子束斑直径,研究非对称透镜物镜的光学特性.德国Tuebingen大学应用物理研究所的一个扫描电子显微镜电子光学系统采用了本文的计算结果.
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