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大气下，采用DBD等离子体枪为等离子体聚合装置，以甲烷为单体，氩气为工作气体，在载玻片和单晶硅片上沉积类金刚石薄膜（DLC）。考察了基片预处理、内电极形状、进气方式、以及等离子体炬喷口和基材的距离对DLC薄膜沉积的影响。通过傅立叶变换红外光谱（FFIR）分析聚合膜结构并探索可能的沉积机理；表面轮廓仪测定了成膜速率；并对薄膜进行了机械性能测量。