【摘 要】
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MEMS微电容具有高比容量、高储能密度和抗高过载等特点，在微电源系统、引信系统以及物联网等技术领域具有广泛的应用前景。设计制作了一种三维结构的聚吡咯／氧化石墨烯电极的ME
【机 构】
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中北大学电子测试技术国防科技重点实验室,山西大学分子科学研究所
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MEMS微电容具有高比容量、高储能密度和抗高过载等特点，在微电源系统、引信系统以及物联网等技术领域具有广泛的应用前景。设计制作了一种三维结构的聚吡咯／氧化石墨烯电极的MEMS微电容。该微电容由三维结构集流体、功能薄膜、凝胶电解质和BCB封装构成，其三维结构集流体是基于RIE刻蚀等微加工工艺加工实现的，而功能薄膜是通过电化学沉积工艺在集流体表面沉积聚吡咯／氧化石墨烯制备而成的，具有阻抗低、容量高、循环性能好的优点。电极的结构表征表明，聚吡咯中充分掺杂了氧化石墨烯，功能材料微观结构规整。器件电化学测试结果表明
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