【摘 要】
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为实现室温下低浓度NO2气体检测,制作了p-六联苯（p-6P）诱导层的酞菁铜有机薄膜传感器。利用原子力显微镜（AFM）研究了不同沉积速率下p-6P薄膜的生长规律,慢速沉积提供足够的分子扩
【机 构】
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长春工业大学化学工程学院,长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室,长春工业大学基础科学学院
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为实现室温下低浓度NO2气体检测,制作了p-六联苯（p-6P）诱导层的酞菁铜有机薄膜传感器。利用原子力显微镜（AFM）研究了不同沉积速率下p-6P薄膜的生长规律,慢速沉积提供足够的分子扩散时间,利于薄膜横向生长,形成高度低、尺寸大的晶畴。在p-6P薄膜上生长了酞菁铜薄膜,可以清晰看到晶畴上酞菁铜薄膜的有序排列。利用X射线衍射（XRD）仪,阐明了p-6P对酞菁铜薄膜具有很好的诱导效应。通过对比不同沉积速率p-6P薄膜诱导的酞菁铜传感器性能,发现慢速沉积诱导层的酞菁铜器件有高的响应强度和低的回复时间。异质诱导
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