磁盘表面粗糙度移相干涉测量仪的PZI驱动分析与设计

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【摘要】

：

本文阐述系统工作原理之后，着重介绍其中的相移驱动装置的设计与实现。 This article describes the working principle of the system, focusing on the design and impleme

【作者】

：

王菊香倪浆铭裴先登

【机构】

：

华中理工大学计算机系

【出处】

：

电子计算机外部设备

【发表日期】

：

1994年03期

【关键词】

：

PZI 表面粗糙度干涉测量锯齿波粗糙度测量仪表面测量仪器测量干涉图像工作原理评定参数

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本文阐述系统工作原理之后，着重介绍其中的相移驱动装置的设计与实现。 This article describes the working principle of the system, focusing on the design and implementation of the phase-shift drive device.

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