材料测量的目前可能性和未来要求

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本文着重就大规模集成电路工艺应用方面考察和讨论了半导体工业的标准测试方法和技术规格。标准化的完善过程,对材料制造厂家及用户之间发展一个良好的工作关系以及解决他们之间共同的测试问题,是一个极好的方法。本文有关章节,详述了这种过程,因为半导体工业是一种国际性的工业。经过多年的认真努力,根据大量成功的方法,说明了欧洲与美国之间标准测试方法的技术差异。本文还报导了与日本开展协作活动的现状,这种协作活动是一种更新的起点。 This article focuses on the application of large scale integrated circuit technology to examine and discuss the semiconductor industry’s standard test methods and technical specifications. It is an excellent way to standardize the process of perfection, to develop a good working relationship between material manufacturers and users, and to solve common test problems between them. This section of the article details this process, as the semiconductor industry is an international industry. After years of hard work, the technical differences between the standard test methods in Europe and the United States have been illustrated on the basis of a number of successful approaches. This article also reports on the status of collaborative activities with Japan, a collaborative activity that is a starting point for renewal.
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