【摘 要】
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本文阐述微波测厚仪的工作原理,讨论信号处理电路对腔体谐振峰点的监测精度和积分电路的线性度对整机分辨率和精度的影响,提出对信号处理电路的设计要求和减小误差的措施,设
【机 构】
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厦门大学物理学系,厦门大学物理学系
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本文阐述微波测厚仪的工作原理,讨论信号处理电路对腔体谐振峰点的监测精度和积分电路的线性度对整机分辨率和精度的影响,提出对信号处理电路的设计要求和减小误差的措施,设计的电路保证了整机分辨率达0.2μm。
This article describes the working principle of the microwave thickness gauge, discusses the signal processing circuit on the resonant cavity peak monitoring accuracy and linearity of the integral circuit resolution and accuracy of the machine, the proposed signal processing circuit design requirements and reduce Error measures, the design of the circuit to ensure the resolution of the machine up to 0.2μm.
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