QWR 铜铌溅射超导腔铜基频率的机械修正

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对QWR铜铌溅射超导腔铜基进行频率修正时,需考虑温度导致的频率变化。本工作研究了铜基频率随温度的变化,并在液氮温度下进行实验验证,在此基础上确定了铜基频率的修正工艺。实验结果表明,150 M Hz的QWR铜铌溅射超导腔修正后的频率与预期频率误差在2 kHz以内。
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