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期刊论文
液态金属镓离子源的制备
液态金属镓离子源的制备
来源 :微细加工技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:HappHapp
【摘 要】
:
叙述了为纳米聚焦离子束装置研制的镓液态金属离子源的制备,并对该离子源的I-V特性、角电流密度、稳定性以及寿命等性能进行了测试,结果表明,该源的各项指标均达到了聚焦离子
【作 者】
:
马向国
刘同娟
顾文琪
【机 构】
:
北京物资学院
【出 处】
:
微细加工技术
【发表日期】
:
2007年1期
【关键词】
:
聚焦离子束
液态金属离子源
测试系统
发射尖
focused ion beam
liquid metal ion source
testing system
e
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叙述了为纳米聚焦离子束装置研制的镓液态金属离子源的制备,并对该离子源的I-V特性、角电流密度、稳定性以及寿命等性能进行了测试,结果表明,该源的各项指标均达到了聚焦离子束系统对液态金属离子源的性能要求.
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