光学弱相干测温

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将光学弱相干层析与激光干涉测温结合,提出了一种新型测温方法:光学弱相干测温.该方法利用光源的弱相干性抑制背景反射光,同时使待测相位通过光学方法放大,测温精度显著提高,特别适用于较薄样品、较低温度变化的测量 Combining optical weak coherence tomography and laser interferometry temperature measurement, a new temperature measurement method is proposed: optical weak coherence temperature measurement. The method uses the weak coherence of the light source to suppress the background reflected light, and enlarges the measured phase optically by the optical method, thereby remarkably improving the temperature measurement precision, and is particularly suitable for measuring thinner samples with lower temperature variation
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