无氧铜基金刚石薄膜场致发射特性研究

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采用微波等离子体方法在铜片上沉积了多晶金刚石薄膜,用该薄膜制成的场致发射体的开启电压较低,发射电流密度较高。利用自制的场致发射阵列阴极高真空测试台测试了1~100 mA/cm2的发射电流密度特性,对应的电场强度为2.0~3.5 MV/m。从拟合F-N公式得到的功函数Φ≈0.025 eV,所发射电子轰击荧光屏后能产生明亮的光斑。
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