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扼要介绍局限选择外延生长技术的原理，实施和效果。
局限选择外延生长技术
【摘 要】
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扼要介绍局限选择外延生长技术的原理，实施和效果。
【机 构】
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微机械技术研究所
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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1997年1期
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