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论述硅与玻璃真空静电封接的工作原理、实验方法以及形成硅杯的各向异性腐蚀技术．关键词
静电封接与硅杯腐蚀的新技术
【摘 要】
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论述硅与玻璃真空静电封接的工作原理、实验方法以及形成硅杯的各向异性腐蚀技术．关键词
【机 构】
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福州大学电子科学与应用物理系
【出 处】
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福州大学学报：自然科学版
【发表日期】
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1994年5期
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