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利用在盐酸乙醚溶液中的水解缩聚反应,从对-双(二甲基乙氧基硅)苯或对-双(二甲基氯硅)苯合成了聚四甲基环对硅苯撑硅氧烷系列的前三个成员:环状二聚体、环状三聚体和环状四聚体。但从间-双(二甲基氯硅)苯只能得到其相应的环状二聚体。由于间硅苯撑硅氧烷的空间结构原因而难以形成大环状化合物。在150℃及硅醇钾的催化下,四甲基对硅苯撑硅氧烷的环状三聚体既可以开环聚合,也可以和八甲基环四硅氧烷进行开环共聚合;而在相同的条件下,四甲基间硅苯撑硅氧烷的环状二聚体却完全不聚合。