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本文从理论和实验上证明了数片硅同时自停止腐蚀的可行性。
数片硅同时自停止腐蚀技术研究
【摘 要】
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本文从理论和实验上证明了数片硅同时自停止腐蚀的可行性。
【机 构】
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浙江大学信电系,浙江大学信电系杭州市310008,杭州市310008,杭州市310008
【出 处】
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仪表技术与传感器
【发表日期】
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1996年6期
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