【摘 要】
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采用低压化学气相沉积法（LPCVD）在大面积（40 cm×40 cm）超薄柔性玻璃和硬质玻璃衬底上分别制备了B掺杂的ZnO（BZO）透明导电薄膜及非晶硅薄膜太阳能电池,对比了两种衬底上BZO薄膜
【机 构】
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浙江正泰太阳能科技有限公司,浙江大学硅材料国家重点实验室,南昌大学材料科学与工程学院
【基金项目】
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国家高技术研究发展计划（863）（2012AA052401）, 国家自然科学基金（61366004）
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采用低压化学气相沉积法（LPCVD）在大面积（40 cm×40 cm）超薄柔性玻璃和硬质玻璃衬底上分别制备了B掺杂的ZnO（BZO）透明导电薄膜及非晶硅薄膜太阳能电池,对比了两种衬底上BZO薄膜的形貌、光学和导电性能及其非晶硅薄膜电池的性能。结果表明,在相同LPCVD工艺下,超薄柔性玻璃衬底上BZO薄膜的生长速率相对减小;当生长相同厚度BZO薄膜时,超薄柔性玻璃衬底的透光率相对于硬质玻璃衬底提高约2%,同时并具有相同的导电能力。在柔性玻璃衬底上制备的非晶硅薄膜电池的初始和稳定转化效率也相对提高,
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