【摘 要】
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前言蒸发源形式很多。管状蒸发源是将蒸发物料盛在管状坩埚内、坩埚外围以加热丝、加热丝外围以多层热屏而成。其截面如图1所示。这种蒸发源的特点是容量大,定向性好,热效率
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前言蒸发源形式很多。管状蒸发源是将蒸发物料盛在管状坩埚内、坩埚外围以加热丝、加热丝外围以多层热屏而成。其截面如图1所示。这种蒸发源的特点是容量大,定向性好,热效率高,很
Introduction There are many forms of evaporation sources. Tubular evaporation source is the evaporation of material filled in the tubular crucible, crucible outer heating wire, heating wire around the multi-layer heat shield made. Its cross section is shown in Figure 1. This evaporation source is characterized by large capacity, good orientation, high thermal efficiency, very
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