【摘 要】
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提出了一种超薄形带锯,其厚度为15～18μm,锯带的宽厚比W/T≤200。该带锯用镍、铁、钴基非晶形合金制成。上述带锯在切割半导体材料时具有较高的寿命,切割精度高,表面粗糙度低
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提出了一种超薄形带锯,其厚度为15～18μm,锯带的宽厚比W/T≤200。该带锯用镍、铁、钴基非晶形合金制成。上述带锯在切割半导体材料时具有较高的寿命,切割精度高,表面粗糙度低。
An ultra-thin band saw is proposed which has a thickness of 15-18 μm and a saw-toothed aspect ratio W / T ≦ 200. The band saw is made of nickel, iron, cobalt-based amorphous alloy. The band saw in the cutting of semiconductor materials has a higher life expectancy, high cutting precision, low surface roughness.
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