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金属等离子体浸没离子注入改善9Cr18轴承钢表面耐磨性的研究
金属等离子体浸没离子注入改善9Cr18轴承钢表面耐磨性的研究
来源 :真空科学与技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xybcn960
【摘 要】
:
采用新改进的阴极弧金属等离子体源,对9Cr18轴承钢进行了金属等离子体浸没离子注入(PⅢ)处理,首先将Ti、Mo和W离子分别注入到9Cr18钢的表面,然后再对其进行N等离子体浸没离子注入,从而在9Cr18钢表面形成了
【作 者】
:
曾照明
朱剑豪
【机 构】
:
哈尔滨工业大学焊接生产技术国家重点实验室,香港城市大学物理及材料科学系
【出 处】
:
真空科学与技术
【发表日期】
:
2000年2期
【关键词】
:
等离子体浸没
离子注入
耐磨性
9C418轴承钢
Plasma immersion ion implantation
Cathodic arc plasma s
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采用新改进的阴极弧金属等离子体源,对9Cr18轴承钢进行了金属等离子体浸没离子注入(PⅢ)处理,首先将Ti、Mo和W离子分别注入到9Cr18钢的表面,然后再对其进行N等离子体浸没离子注入,从而在9Cr18钢表面形成了一层超硬耐磨的改性层。
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