【摘 要】
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扫描电镜电子束纳米刻蚀鲁武,顾宁,陆祖宏,韦钰(东南大学分子与生物分子电子学实验室,南京210018)沈浩赢,张岚(南京电子器件研究所,南京210016)随着超大规模集成电路集成度的提高,尤其是某些特种器件
【机 构】
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东南大学分子与生物分子电子学实验室,南京电子器件研究所
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扫描电镜电子束纳米刻蚀鲁武,顾宁,陆祖宏,韦钰(东南大学分子与生物分子电子学实验室,南京210018)沈浩赢,张岚(南京电子器件研究所,南京210016)随着超大规模集成电路集成度的提高,尤其是某些特种器件如高电子迁移率场效应管、高频声表面波器件的出...
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