【摘 要】
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表面经过不同化学修饰,金刚石薄膜会表现出不同的表面导电性能。这使得其在平面微电子、微电化学器件开发方面有着广阔的应用前景。总结国内外的研究,结合近年来的研究成果,
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表面经过不同化学修饰,金刚石薄膜会表现出不同的表面导电性能。这使得其在平面微电子、微电化学器件开发方面有着广阔的应用前景。总结国内外的研究,结合近年来的研究成果,详述了不同表面修饰金刚石薄膜的实现方法,讨论了表面修饰金刚石薄膜的几何结构和电子结构,并对当前有关表面修饰金刚石薄膜导电机理的主要观点进行了分析。在此基础上,提出了今后不同表面修饰金刚石薄膜导电性的研究重点。
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