【摘 要】
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本文对功率集成电路中耐压为60V,电流容量为2.5A的VDMOS进行了设计和仿真。在理论计算的基础上,分析了外延参数和单胞尺寸结构的设计优化方法。通过应用ISE TCAD器件仿真软件
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本文对功率集成电路中耐压为60V,电流容量为2.5A的VDMOS进行了设计和仿真。在理论计算的基础上,分析了外延参数和单胞尺寸结构的设计优化方法。通过应用ISE TCAD器件仿真软件,得出了相关终端结构,进而完成了最终版图结构。
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