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为提高三维微细电火花加工的加工效率，从而达到工业应用目的，采用放电间隙伺服控制实时补偿电极损耗的技术路线，提出了三维微细电火花伺服扫描加工方法．基础实验验证了伺服扫描加工每层加工深度的一致性，研究了横向扫描加工速度对加工深度的影响规律．在小于1mm2加工区域内的三维结构加工实验结果显示，伺服扫描加工可以便捷地实现三维微小结构的加工成型．进一步在工件与电极之间附加激振，可大幅度地提高放电脉冲的有效利用率以及加工效率．采用φ100μm的钨丝电极，在铜试件上加工深度300μm的典型三维形状，加工时间小于50mi