非平衡磁控溅射离子镀MoS2-Ti复合薄膜的结构及性能

来源 :山东大学学报：工学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：ruannengjie

【摘要】

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用非平衡磁控溅射离子镀法沉积了钛含量不同的MoS2-Ti复合薄膜,电子探针分析表明共沉积钛可以降低MoS2薄膜中氧杂质的含量,XRD分析显示薄膜具有类似非晶的结构.划痕试验结果

【作者】

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侯圣英高蕊孟祥娟张晓玲孙玉璞

【机构】

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山东大学,济南大学,日照裕鑫动力有限公司

【出处】

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山东大学学报：工学版

【发表日期】

：

2005年6期

【关键词】

：

二硫化钼钛复合薄膜摩擦性能 MoS2 titanium composite film tribological property

【基金项目】

：

山东省科技发展基金

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用非平衡磁控溅射离子镀法沉积了钛含量不同的MoS2-Ti复合薄膜,电子探针分析表明共沉积钛可以降低MoS2薄膜中氧杂质的含量,XRD分析显示薄膜具有类似非晶的结构.划痕试验结果显示薄膜的临界栽荷都大于100N,球盘磨损试验结果显示MoS2-Ti复合薄膜比MoS2薄膜耐磨性好,并且摩擦系数低于0.07.

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