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在本实验中我们利用电子束蒸发方法在玻璃衬底上制备了ZnO：Al透明导电膜，并对所得样品在400℃下进行了退火处理。利用扫描电子显微镜观察了样品的表面形貌，利用分光光度计分析了样品的光学性质，结果表明所得样品在可见光范围具有较好的透光性。利用四探针对其进行了电学性质的测量，表明衬底温度为200℃时制备的样品电阻率可达6×10^-3Ω·cm。