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微机械技术与微传感器发展——21 世纪航天传感器技术展望
微机械技术与微传感器发展——21 世纪航天传感器技术展望
来源 :遥测遥控 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wnan100
【摘 要】
:
论述了微机械技术对传感器发展的巨大推动作用及其在航天传感器上的应用前景,并介绍了微机械技术在传感器上近期应用研究的主要内容。
【作 者】
:
魏世钧
【机 构】
:
北京航天工业总公司七○四所
【出 处】
:
遥测遥控
【发表日期】
:
1998年2期
【关键词】
:
航天工程
传感器
微电机械技术
AerospaceTransducer+MEMS
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论述了微机械技术对传感器发展的巨大推动作用及其在航天传感器上的应用前景,并介绍了微机械技术在传感器上近期应用研究的主要内容。
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