【摘 要】
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为了满足国内ICF系统大口径光学元件的检测需要,提出了子孔径拼接干涉检测的方法.该方法是利用小口径干涉仪对大口径光学元件进行高精度波前检测.建立了拼接检测计算的模型.
【机 构】
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四川大学,成都精密光学工程研究中心
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为了满足国内ICF系统大口径光学元件的检测需要,提出了子孔径拼接干涉检测的方法.该方法是利用小口径干涉仪对大口径光学元件进行高精度波前检测.建立了拼接检测计算的模型.利用最小二乘法计算得到拼接参数,从而恢复大口径光学元件的全孔径波前相位分布.在理论分析的基础上设计了一套检测装置,对该装置的稳定性进行了实验研究.进行了两口径拼接检测的实验.拼接结果与全孔径检测结果进行了比较.结果表明,该检测方案能够满足大口径光学元件的检测要求.
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