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MSM光探测器直流特性的二维分析
MSM光探测器直流特性的二维分析
来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lovecat_fish
【摘 要】
:
基于有限差分方法对金属-半导体-金属(MSM)光探测器进行了二维分析,得到有明确物理意义的模拟曲线和结论,并结合模拟结果对MSM光探测器的光电直流特性进行了分析.全部模拟工作都
【作 者】
:
于弋川
何建军
何赛灵
邹勇卓
【机 构】
:
浙江大学光及电磁波研究中心现代光学仪器国家重点实验室,LightipTechnologies
【出 处】
:
半导体学报
【发表日期】
:
2005年4期
【关键词】
:
MSM光探测器
有限差分
二维分析
直流
硅材料
MSM photodetectorfinite difference method2DDCSi
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基于有限差分方法对金属-半导体-金属(MSM)光探测器进行了二维分析,得到有明确物理意义的模拟曲线和结论,并结合模拟结果对MSM光探测器的光电直流特性进行了分析.全部模拟工作都是基于半导体物理的基本微分方程完成的,这对于未来优化设计探测器的性能和结构有很大的意义.
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