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报道了扩散阻挡层材料氮化钨的结构特性随组分变化的情况。以二极管反向特性为主要检测手段，考察了基于氮化钨的Ａｌ／ＷＮ＿ｘ和Ａｌ／ＷＮ＿ｘ／Ｔｉ系统的热稳定性，发现Ａ１／ＷＮ，系统可以承受５５０”Ｃ、３０ｍｉｎ的退火，氮化钨的阻挡特性得到验证，但接触电阻特性有待改善。Ａｌ／ＷＮ＿ｘ／Ｔｉ系统由于钛层的引入可以降低接触电阻，但稳定性有所下降。通过实验，提出了一种可能实现的改进方案。