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为了优化GaAs光电阴极制备工艺，设计了一个用于GaAs光电阴极制备过程监控的多信息量测试系统。系统采用了先进的现场总线技术，可在线测试阴极加热净化过程中真空度随温度的变化曲线，阴极激活过程中光电流、真空度、Cs源和O源电流的变化曲线，以及阴极激活后的光谱响应曲线。光电流测试精度可达1nA，光谱响应曲线测量范围在400～1000nm。利用该系统对阴极制备过程进行了监测，并给出了测试结果。