【摘 要】
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设计并制备了一种无透气膜的安培型氨气微传感器,并构建了氨氮检测系统,该系统实现了将溶液中的氨氮转化为氨气,并应用所设计的微传感器检测气态氨氮.采用MEMS工艺制备组成该
【机 构】
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中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室,中国科学院研究生院
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设计并制备了一种无透气膜的安培型氨气微传感器,并构建了氨氮检测系统,该系统实现了将溶液中的氨氮转化为氨气,并应用所设计的微传感器检测气态氨氮.采用MEMS工艺制备组成该微传感器的微电极芯片,氨敏感材料选用铂黑,通过电化学方法修饰于微电极表面.在微电极芯片的SU-8微池中滴入微量LiCl溶液,形成可使氨气迅速扩散到电极表面的薄层电解液.使用自行设计的氨氮检测系统对不同浓度氨氮样品进行检测,对微传感器的时间响应特性、线性度、灵敏度及重复性进行了测试和分析.微传感器的线性范围为0.2 mg/L～4 mg/L,线性相关系数为0.984 7,检测下限为0.2 mg/L,达到90%响应信号所需的时间在3 min以内.结果表明,使用安培型氨气微传感器检测氨氮的方法是可行的.
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