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用X射线衍射和扫描电镜研究了ZrO2膜的晶体结构和显微组织。结果表明ZrO2膜的相结构为立方氧化锆（c-ZrO2），晶粒尺寸细微。发现ZrO2膜中存在具有（111）面织构的柱状晶结构，这种结构可在基片上加负偏压消除。
ZrO2膜的相结构与显微组织
【摘 要】
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用X射线衍射和扫描电镜研究了ZrO2膜的晶体结构和显微组织。结果表明ZrO2膜的相结构为立方氧化锆（c-ZrO2），晶粒尺寸细微。发现ZrO2膜中存在具有（111）面织构的柱状晶结构，这种结构可
【机 构】
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华中科技大学材料学院,武汉水电科技大学
【出 处】
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化学工程师
【发表日期】
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2001年1期
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