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高灵敏度的氟里昂气体传感器是检测氟里昂泄漏的关键元件。本文叙述了氟里昂气敏器件的制作工艺、敏感原理、测试方法及测试结果。
氟里昂气体传感器的研制
【摘 要】
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高灵敏度的氟里昂气体传感器是检测氟里昂泄漏的关键元件。本文叙述了氟里昂气敏器件的制作工艺、敏感原理、测试方法及测试结果。
【机 构】
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辽宁省电子产品监督检验所
【出 处】
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沈阳工业大学学报
【发表日期】
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1994年1期
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