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介绍晶体生长控温系统的组成,微弱温差信号的接口调理方法及智能控制器的分级控制方式.系统控温范围(25～75)℃,控温精度达0.01℃,分辨率0.001℃,投入使用多年来,工作稳定可靠.
晶体生长控制中的高精度控温系统
【摘 要】
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介绍晶体生长控温系统的组成,微弱温差信号的接口调理方法及智能控制器的分级控制方式.系统控温范围(25～75)℃,控温精度达0.01℃,分辨率0.001℃,投入使用多年来,工作稳定可靠.
【机 构】
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福州大学物理与信息工程学院
【出 处】
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仪表技术
【发表日期】
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2005年1期
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