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结合高纯特气实际生产过程中的特点,介绍了统计过程控制(SPC)在高纯特气生产过程管控中的应用,分析了单值-移动极差控制图和不相等样本容量的均值-全距控制图的应用。认为SPC是建立在时间先后顺序上的过程管控,只有先后顺序清晰制定SPC控制图才能真实的反应过程情况,过程能力指数分析需要结合SPC控制图才能准确的表征一个过程的实际能力。SPC的应用有助于高纯特气体生产过程的管控和产品品质的改善。